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反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长

发布时间:2017-07-02    作者:      来源:      浏览次数:     打印


出版物名称:电子显微学报
出版期号:2006,25,B08,89-90.
出版时间:2006
论文题名:反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长
论文作者:岳建岭
论文摘要:*
关键词:*
本院作者:岳建岭


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